多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的環(huán)保問題主要包括廢水和廢氣處理。

　　廢水處理

　　多晶硅生產(chǎn)廢水主要包括含氟酸性廢水和其他生產(chǎn)廢水。處理這些廢水的方法包括：

　　預(yù)處理：曝氣除砂去除廢水中的懸浮物和砂粒，調(diào)節(jié)池均衡廢水的流量和水質(zhì)。

　　化學(xué)沉淀法：使用混凝劑如聚合氯化鋁(PAC)和聚合硫酸鐵(PFS)進(jìn)行混凝沉降，去除廢水中的懸浮物、有機(jī)物和重金屬離子。

　　深度處理：

　　膜分離技術(shù)：利用微濾(MF)、超濾(UF)、納濾(NF)和反滲透(RO)等技術(shù)，去除廢水中的鹽類、有機(jī)物及其他污染物，實(shí)現(xiàn)水質(zhì)的深度凈化。

　　高級氧化技術(shù)：如臭氧氧化、電化學(xué)氧化、光催化氧化等，用于分解難降解的有機(jī)物和部分無機(jī)化合物。

　　廢氣處理

　　多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣成分復(fù)雜，主要包括SiCl4、SiHCl3、HCl、H2、N2及少量的金屬氯化物。傳統(tǒng)的處理方法采用堿洗噴淋塔工藝，將廢氣直接進(jìn)入堿液(NaOH或CaO溶液)噴淋塔，生成NaCl、CaCl2、SiO2(粉)、Na2SiO3等，然后送至后續(xù)的廢水處理進(jìn)行進(jìn)一步脫鹽和固體廢物處理。改進(jìn)的方法包括蓄熱焚燒-余熱回收-二氧化硅回收-急冷塔-鹽酸回收-噴淋塔-排放，通過高溫氧化反應(yīng)分解氯硅烷，回收煙氣中的余熱并處理尾氣排放。