Surpass系列 干法刻蝕機(jī)，特別適合于大口徑、高均勻性和有特殊微納結(jié)構(gòu)的基片刻蝕，***大刻蝕尺寸可達(dá)φ2500mm，通過高密度等離子體及離子濃度修正系統(tǒng)，可達(dá)到基片有效刻蝕區(qū)域內(nèi)均勻性較高的技術(shù)指標(biāo)，滿足大口徑基片刻蝕的需求。

     成都超邁光電科技有限公司，為國家高新技術(shù)企業(yè)、國家標(biāo)準(zhǔn)擬定單位、創(chuàng)新型中小企業(yè)、省專精特新企業(yè)、新經(jīng)濟(jì)雙百企業(yè)，已通過GB/T與GJB雙體系認(rèn)證。

       成都超邁光電科技有限公司致力于真空鍍膜、等離子刻蝕、人工晶體材料和特殊裝備的技術(shù)提升，具有全系列涂層服務(wù)裝備和檢測手段，已申請國家專利60余項(xiàng)，授權(quán)專利與軟件著作權(quán)50余項(xiàng)，擬定國家標(biāo)準(zhǔn)2項(xiàng)，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng)，為中國物理學(xué)會固體缺陷專家委員單位，全國電熱裝備標(biāo)準(zhǔn)化委員會單位，已形成工業(yè)級、科研級和特殊級三大產(chǎn)品系列，公司在南充高新區(qū)(順慶高新區(qū))建有超邁智能產(chǎn)業(yè)園，一期已完成3.5萬平方米廠房和配套辦公生活設(shè)施建設(shè)，具備強(qiáng)大的研發(fā)和制造能力。