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LF420-S熱式氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)主要用于各種氣體的質(zhì)量流量控制,輸入輸出信號為模擬式,可選電壓(0-5V)或電流(4-20mA);供電形式為﹢15V——24V;流量量程可選:2sccm——30slm;
LF420-S熱式氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號
LF420-SC
LF420-SM
滿量程范圍
SCCM 0~5,10,20,30,50,100,200,500
SLM 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
量程比
控制器50:1
流量計(jì)100:1
精度
±1.0%F.S
線性
±0.5%F.S
重復(fù)性
±0.2%F.S
閥門類型
常閉閥
響應(yīng)時(shí)間
≤1S-3S
工作壓差
0.1...0.5Mpa
耐壓
3MPa
工作環(huán)境溫度
5...45℃
泄漏率
1×10-8Pa.m3/s
通信信號
0-5V / 4-20MA
供電方式
24VDC(250mA)
密封材料
丁晴橡膠 氟橡膠(可選)
接頭尺寸
3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8”
電器接頭
DB9針
浙公網(wǎng)安備 33010602000811號