模擬式氣體質(zhì)量流量控制器LF420-B簡(jiǎn)要描述:用于對(duì)中大流量氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測(cè)量和控制,具有精度高,穩(wěn)定性好,模擬電路,可靠性高,安裝簡(jiǎn)單,操作方便。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
模擬式氣體質(zhì)量流量控制器LF420-B簡(jiǎn)要描述技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào)
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LF420-BC
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LF420-BM
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滿量程范圍
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SLM 30~40,50,100,150,200, 300
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量程比
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控制器50:1
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流量計(jì)100:1
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精度
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±2.0%F.S
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線性
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±0.5%F.S
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重復(fù)性
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±0.2%F.S
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閥門(mén)類型
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常閉閥
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響應(yīng)時(shí)間
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≤1S-3S
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工作壓差
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0.1...0.5Mpa
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耐壓
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3MPa
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工作環(huán)境溫度
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5...45℃
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泄漏率
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1×10-8Pa.m3/s
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通信信號(hào)
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0-5V / 4-20MA
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供電方式
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24VDC(250mA)
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密封材料
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丁晴橡膠 氟橡膠
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接頭尺寸
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3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8”
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電器接頭
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DB9針
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